對于應有的測量結果（測量值），測量結果因某些要素的影響而不同時，將其差異稱為“測量誤差”。測量誤差的原因各式各樣，需要根據原因進行處理。產生測量誤差時，應在充分討論“為什么會產生該測量誤差”后采取對策，穩定制造品的品質尤為重要。
測量誤差的原因1是測量儀的誤差，可發生在原來測量儀中測量誤差或是測量精度的長期劣化（因消耗部件的磨損等導致的劣化）；原因2是測量人員的誤差，比如不習慣測量儀的操作或者不熟練或者刻度讀取方式不一致；原因3是環境條件的誤差，比如測量目標物因溫度變化發生變形或者在亮度不同處進行測量。
我們知道了測量誤差的原因后，如何消除呢。取決于測量儀或環境條件的誤差可在確認其原因后采取對策，從而消除誤差。關于取決于測量人員的誤差，也存在重新設置測量工序或員工教育等中長期的對策。
如果對1個目標物進行多次測量，則可消除測量誤差。但在檢查工序中采取上述對策是不實際的。在1次測量中，為了獲得更準確的測量值，需要事先根據測量誤差的原因進行處理。
針對測量儀的原有誤差，我們可以定期實施校正或者進行定期維護，更換消耗部件，也可以在開始作業前和開始作業后確認精度。
針對人為誤差，可以制定標準化測量方法（測量工序），實施以作業人員的技能提升為目的的教育，或者導入自動測量儀；若使用的是接觸式測量儀，還可以用非接觸式測量儀進行替代。
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