1、安裝狀態／安裝模式
為了使用激光位移傳感器測量目標物，需要接收器獲取目標物的反射光。為了使三角測量方式的激光位移傳感器可適當接收反射光，需根據目標物的表面狀態，傾斜安裝傳感頭。
2、參考距離
通過激光位移傳感器測量目標物時，測量值為０的點。一般表示從傳感頭的下面到測量范圍中心的距離。
3、測量范圍
表示激光位移傳感器可測量目標物位移量的范圍。一般以參考距離為基準，表示±○○mm。比如：參考距離：30 mm，測量范圍：±5 mm，表示激光位移傳感器可在以下范圍內測量目標物。
4、光源
在激光位移傳感器中使用光線從發射器對目標物照光，并用接收器接受其反射光。該光源可使用紅色半導體激光、藍色半導體激光、白光、SLD、綠色LED等多種光。依照測量儀原理決定使用哪種光源，并使用光源相應的鏡頭和光接收元件等，可實現高精度的測量。
5、光點直徑
激光位移傳感器一般包括2種光點直徑。分為橢圓形狀的光點直徑和小光點型的光點直徑。
橢圓形狀的光點直徑可測量橢圓內的平均高度，因此不易受到目標物表面粗糙度誤差的影響。但光點尺寸變大，因此不適于測量形狀和較小部位。
而小光點型的光點直徑光點較小，可有效測量形狀或細微部位，但同時還會跟蹤表面粗糙度，與橢圓形狀的光點直徑相比，易于受到表面粗糙度誤差的影響。
6、重復精度
表示重復測量目標物定點時的偏差。
7、直線性
直線性是表示激光位移傳感器性能的指標。表示理想值與實際測量結果誤差的最大值。例如，使用直線性為±5μm的測量儀移動1㎜的目標物時，表示所顯示的值可能包含±5μm的誤差（9.995μm至1.005μm）。
直線性的規格規定為±○○％of F.S.，F.S.表示測量范圍，可按以下示例進行計算。直線性越小的測量儀越可稱之為越好的測量儀。
8、溫度特性
溫度特性表示傳感頭的溫度變化1度時所發生的測量值誤差的最大值。在傳感頭的內部中，使用了鏡頭或CMOS及固定這些構件的夾具。因溫度變化，上述構件會發生膨脹或收縮，且成像在CMOS上的光點位置變化會產生誤差。
9、環境光照
表示激光位移傳感器可不受外部光線影響進行測量的外部光源的最大照度。
10、環境溫度
保證測量儀動作的溫度環境。
11、相對濕度
保證測量儀動作的濕度環境。
12、抗震動
表示對激光位移傳感器振動影響的指標。
13、采樣周期／采樣速度
表示激光位移傳感器在1秒內可測量的數據點數。采樣周期為100 Hz的激光位移傳感器在每秒可進行100次測量。采樣周期越快的激光位移傳感器越可準確測量在線移動的目標物，或可進行較多單一時間內的平均化處理，因此能穩定測量值。
14、接收光波形
表示光接收元件接收到的光的狀態為接收光波形。縱軸表示光的強度，橫軸表示光接收元件上的位置。通過確認接收光波形的形狀，可判斷是否準確進行當前測量。
①理想的接收光波形
可穩定測量的接收光波形。
②接收光波形的高度較低時
無法獲得充足的反射，因此無法進行測量。
③接收光波形的高度過高時
處于飽和狀態。此時，測量值的偏差變大。
④接收光波形的形狀左右不對稱時
測量樹脂等時，激光將進入目標物中，使得接收光波形左右更加不對稱。
此時的測量值將根據進入量平移實際值。
⑤存在多條接收光波形時
測量玻璃等透明目標物時，會產生1條以上的峰值。測量玻璃時，可獲得表面反射峰值和里面反射峰值總計2條峰值。
15、光軸、光軸區域
將激光位移傳感器發射器照射的光的中心軸稱為光軸。
光軸區域圖表示從發射器到接收器的光的路徑。若在該區域內放入夾具等，則光不會照射到目標物或接收器，因此無法進行測量。
16、電源電壓
驅動產品時所需的電源電壓。如果為24 VDC±10％的規格，則表示直流電源，需要電壓24 V變動量在±2.4 V以內的電源。
17、最大消耗電流
驅動產品時所消耗的電流量。使用的電源需要選擇比該最大消耗電流容量還大的產品。
